Mae lleithder yn gyflwr rheoli amgylcheddol cyffredin wrth weithredu ystafelloedd glân. Rheolir y gwerth targed ar gyfer lleithder cymharol yn yr ystafell lân lled-ddargludyddion i fod yn yr ystod o 30 i 50%, gan ganiatáu i'r gwall fod o fewn ystod gul o ±1%, fel ardal ffotolithograffig – neu hyd yn oed yn llai yn yr ardal prosesu uwchfioled pell (DUV). – Mewn mannau eraill, gallwch ymlacio o fewn ±5%.
Oherwydd bod gan leithder cymharol nifer o ffactorau a all gyfrannu at berfformiad cyffredinol yr ystafell lân, gan gynnwys:
● twf bacteriol;
● Yr ystod o gysur y mae'r staff yn ei deimlo ar dymheredd ystafell;
● Mae gwefr statig yn ymddangos;
● cyrydiad metel;
● Cyddwysiad anwedd dŵr;
● diraddio lithograffeg;
● Amsugno dŵr.
Gall bacteria a halogion biolegol eraill (llwydni, firysau, ffyngau, gwiddon) luosi'n weithredol mewn amgylcheddau â lleithder cymharol uwchlaw 60%. Gall rhai fflora dyfu pan fydd y lleithder cymharol yn fwy na 30%. Pan fydd y lleithder cymharol rhwng 40% a 60%, gellir lleihau effeithiau bacteria a heintiau anadlol.
Mae lleithder cymharol yn yr ystod o 40% i 60% hefyd yn ystod gymedrol y mae bodau dynol yn teimlo'n gyfforddus ynddi. Gall lleithder gormodol wneud i bobl deimlo'n isel eu hysbryd, tra gall lleithder islaw 30% wneud i bobl deimlo'n sych, yn hollt, yn anghyfforddus wrth resbiradu ac yn emosiynol.
Mae lleithder uchel mewn gwirionedd yn lleihau croniad gwefr statig ar wyneb yr ystafell lân – dyma'r canlyniad a ddymunir. Mae lleithder is yn fwy addas ar gyfer cronni gwefr ac yn ffynhonnell a allai fod yn niweidiol o ollyngiad electrostatig. Pan fydd y lleithder cymharol yn fwy na 50%, mae'r gwefr statig yn dechrau gwasgaru'n gyflym, ond pan fydd y lleithder cymharol yn llai na 30%, gallant barhau am amser hir ar yr inswleiddiwr neu'r wyneb heb ei seilio.
Gall lleithder cymharol rhwng 35% a 40% fod yn gyfaddawd boddhaol, ac mae ystafelloedd glân lled-ddargludyddion fel arfer yn defnyddio rheolyddion ychwanegol i gyfyngu ar gronni gwefr statig.
Bydd cyflymder llawer o adweithiau cemegol, gan gynnwys y broses cyrydu, yn cynyddu wrth i'r lleithder cymharol gynyddu. Mae pob arwyneb sy'n agored i'r awyr o amgylch yr ystafell lân yn cael ei orchuddio'n gyflym ag o leiaf un monohaen o ddŵr. Pan fydd yr arwynebau hyn wedi'u gwneud o orchudd metel tenau a all adweithio â dŵr, gall lleithder uchel gyflymu'r adwaith. Yn ffodus, gall rhai metelau, fel alwminiwm, ffurfio ocsid amddiffynnol gyda dŵr ac atal adweithiau ocsideiddio pellach; ond nid yw achos arall, fel ocsid copr, yn amddiffynnol, felly Mewn amgylcheddau lleithder uchel, mae arwynebau copr yn fwy agored i gyrydiad.
Yn ogystal, mewn amgylchedd lleithder cymharol uchel, mae'r ffotowrthsefyll yn ehangu ac yn gwaethygu ar ôl y cylch pobi oherwydd amsugno lleithder. Gall lleithder cymharol uwch hefyd effeithio'n negyddol ar adlyniad ffotowrthsefyll; mae lleithder cymharol is (tua 30%) yn gwneud adlyniad ffotowrthsefyll yn haws, hyd yn oed heb yr angen am addasydd polymerig.
Nid yw rheoli lleithder cymharol mewn ystafell lân lled-ddargludyddion yn fympwyol. Fodd bynnag, wrth i amser newid, mae'n well adolygu rhesymau a sylfeini arferion cyffredin a dderbynnir yn gyffredinol.
Efallai nad yw lleithder yn arbennig o amlwg ar gyfer ein cysur dynol, ond yn aml mae ganddo effaith fawr ar y broses gynhyrchu, yn enwedig lle mae lleithder yn uchel, a lleithder yw'r rheolaeth waethaf yn aml, a dyna pam Wrth reoli tymheredd a lleithder yr ystafell lân, mae lleithder yn cael ei ffafrio.
Amser postio: Medi-01-2020